探針臺(tái)工作原理：通過(guò)其精細(xì)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的準(zhǔn)確測(cè)量和分析。

1.定位：通過(guò)樣品臺(tái)精確定位待測(cè)物（晶圓、芯片等）；

2.視覺(jué)輔助：利用光學(xué)元件放大觀察，確保探針精確對(duì)準(zhǔn)測(cè)量點(diǎn)；

3.固定待測(cè)物：使用卡盤(pán)固定晶圓或芯片，可能采用夾具或真空吸附；

4.探針控制：通過(guò)電磁或壓電裝置精確控制，探針在樣品表面的移動(dòng)和定位；

5.信號(hào)采集：內(nèi)置傳感器實(shí)時(shí)記錄探針與樣品相互作用產(chǎn)生的信號(hào)；

6.數(shù)據(jù)處理：對(duì)采集的信號(hào)進(jìn)行處理，分析得到樣品的形貌和性能信息；

7.自動(dòng)化測(cè)試：手動(dòng)、半自動(dòng)或全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)完成測(cè)試流程。