隨著5G?人工智能?物聯網等新興技術的快速發(fā)展?科技智能產品正逐漸滲透到我們的日常生活和工作中?而這些智能產品的制造離不開一個重要的核心部件——芯片?相信大家都對芯片有一定的了解?所以今天我就來給大家介紹一下芯片測試中的一個重要環(huán)節(jié)——探針臺?

一?探針臺的用途￤

探針平臺主要用于為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺?它可以吸附多種規(guī)格的芯片?并提供多種可調測試針和探針座。集成電路的電壓?電流?電阻和電容電壓特性曲線可以通過測量儀器完成?探針臺適用于芯片的科研分析?抽查和測試?

二?探針臺的使用方法￤

以手動探針臺為例，使用步驟如下：

1. 將樣品載入真空卡盤，打開真空閥控制開關?使樣品安全牢固地吸附在卡盤上；

2. 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺?在顯微鏡低倍物鏡的焦點下清楚地看到樣品；

3. 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺?將樣品放置測試點移至顯微鏡下；

4. 顯微鏡切換為高倍率物鏡?在高倍率下找到待測點?然后微調顯微鏡聚焦和樣品x-y,將圖像調整清晰?等待測點位于顯微鏡視場中心；

5. 確認測點位置后?調整探針座位置?安裝探針后?可以將探針移到接近待測點的位置?然后使用探針座X。-Y-Z的三個微調旋鈕慢慢地將探針移動到被測點?這時候要小心?慢慢移動?防止芯片誤傷?當探針針的尖端懸掛在被測點上方時?探針可以先用Y軸旋鈕稍微后退一點?然后用Z軸旋鈕下針?最后用X軸旋鈕左右滑動?觀察是否有一點劃痕?證明是否接觸過；

6. 確保針尖與被測點接觸良好后，可通過連接測試設備開始測試?

三?探針臺的規(guī)格特點￤

1. U型平臺最多可放置8個針座；

2. 真空吸附配置3個真空開關；可根據樣品尺寸選擇開關單獨控制；樣品臺可 360°旋轉粗調快速旋轉帶鎖死微調0.1°；探針座帶快速傾仰調節(jié)支架；按需升級適配場景豐富體積小巧操作方便性價比高；適用于六寸及以下圓片碎片等廣泛應用在各研究所高校實驗室等?

武漢光谷薄膜技術可提供全套解決方案通過晶圓探針臺(HCP-1W)精密的機械結構高性能的探針以及穩(wěn)定的控制系統(tǒng)為晶圓電特性測量提供高精度可控測量環(huán)境?